招 标 编 号:**********
加 入 日 期:****.**.**
截 止 日 期:****.**.**
招 标 代 理:**********
地 区:湖北省
内 容:
项目名称:半导体照明LED项目
招标编号:*****************
************受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,现邀请合格投标人参加投标。
*、招标产品的名称、数量及主要技术参数:
包*:金属有机物化学气相沉积台(MOCVD)*套
**.反应堆工艺室
带有石英衬垫的垂直冷壁室,喷淋头喷射器与衬底的间距小于*cm.
**. 旋转
晶片旋转<***rpm,以使物料均匀性最优化。
**. 物料消耗(*цm GaN Growth ***********цm/hour)
TMGa: *.* gram NH*: *** gram H*:*** liters N*: *** liters
包*:激光划片机*套
所有的规格基于***um × ***um线间距为**mm直径晶圆。
*切口 宽度 *.* um(typically)
Travel** *** mm×*** mm
*编码器决议 *.* um
*系统水平决议 *.* um
*准确性 *.* um over ** mm, 正交性<* um over *** mm, 反复性*um
包*:分选机**套
**.* 衬底尺寸 *” (***mm)-扩片之后
**.* 分辨率 *.** mil (*um)
**.* 可活动区域 ***mm x ***mm
**.* Bin Blocks (硬件) **
包*: 减薄机*套
*). 砂轮主轴单元
-球轴承主轴
-*A.C 伺服电动机 Yaskawa : *.*kw, ***V, **Hz, *P
-Wheel Feed 步进电动机 Parker:
-线性规模双叶Futaba
-*四轮规格: ?***×*mm(t)×*mm(h)
-*四轮规格: **~*,*** rpm variable
-进给速度: 可在*.*~**?之间自动调节
包*: 研磨机*套
- *最大值。工作尺寸: ?*** × **mmh
- *最大值。金刚石砂轮尺寸: ?***
- 车轮转速: * **转变(逆变器控制)
- 工作,每分钟转速: * **转变(逆变器控制)
- 解决方案: * .*um
消耗品及特殊配件
- 金刚石砂轮 #***mesh ?***
- 修整夹具
- 装饰石材编号 #***mesh **pcs(*pack)
包*:裂片机*台
*、 工作台(θ轴)
*.* 回转 *°,**° 脉冲电机/皮带轮
**.* 分辨率 *.**°
*.* 回转速度 *Sec/**°
*.* *点固定方式
*、 裂片刀(SK材)
*.* 脉冲电机/球形丝杠
*.* 移动量 **mm
*.* 速度 ** mm/Sec MAX
**.* 分辨率 *.***mm
*.* 裂片刀宽 ***mm
*.* 重力锤 采用电磁线圈可加强冲击力
包*:PECVD(等离子增强型化学气相沉积) * 套
**、工作腔体为圆筒式:D=***Mm H=***mm
*、工作泵为:Busch DS *** 无油干泵 和旋转叶片泵
**、最大承载量为:**PCS *\\\’\\\’ wafer.加热温度最高可达到***℃,并具有精准的温控系统,在***℃以内误差在*℃以内。
*、招标文件售价:人民币****元
*、购买招标文件时间:即日起至投标截止时间止,每天**:**-**:**,节假日除外
*、购买招标文件地点:***************#
*、投标截止时间和开标时间:****-**-** **:**:**
*、开标地点:*************楼会议室。
地址:*********水果湖东一路*号
邮编:******
电子邮箱:***********
电话:***-********
传真:***-********
联系人:刘伟、金红
开户银行(人民币):***商业银行**路分行
开户银行(美元):中国银行***汉口支行
帐号(人民币):*************
帐号(美 元):**************